ОБ ИССЛЕДОВАНИИ ВОЗМОЖНОСТИ СОЗДАНИЯ ИНЕРЦИАЛЬНЫХ МОДУЛЕЙ НА ОСНОВЕ
ОТЕЧЕСТВЕННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ ОБЪЕМНОЙ МИКРОМЕХАНИКИ

Дмитриенко Алексей Геннадьевич, кандидат технических наук, генеральный директор,
Научно-исследовательский институт физических измерений, niifi@sura.ru
Папко Антонина Алексеевна, доктор технических наук, главный конструктор направления,
Научно-исследовательский институт физических измерений,  inercial@niifi.ru
Торгашин Сергей Иванович, директор по производству, Научно-исследовательский институт
физических измерений, niifi@sura.ru
Кирянина Ирина Владимировна, заместитель начальника комплекса.начальник отдела,
Научно-исследовательский институт физических измерений, niifi@sura.ru

629.7.072.1

Эффективность решения задач навигации подвижных объектов в значительной степени зависит от качества инерциальных модулей, в состав которых входят акселерометры и датчики угловой скорости. В бесплатформенных инерциальных системах выходной сигнал акселерометров подвергается двойному интегрированию для определения скорости и координат. При этом информацию о направлении ускорения получают от датчиков угловой скорости, обеспечивающих для акселерометров опорную систему координат. В настоящее время актуальны исследования и разработки микромеханических инерциальных модулей, обеспечивающих существенное улучшение массогабаритных и энергетических характеристик навигационных систем. Рассмотрены конструктивно-технологические особенности их реализации.

Ключевые слова

микромеханические инерциальные измерительные модули, микромеханические датчики угловой скорости, микромеханические акселерометры, бесплатформенные инерциальные навигационные системы, технологии объемной микромеханики, МЭМС-технологии, СБИС.

 Скачать статью в формате PDF

1. Ориентация и навигация подвижных объектов / под общ. ред. Б. С. Алешина, К. К. Веремеенко, А. И. Черноморского. – М. : Физматлит, 2006.
2. Шахнович, И. Технологии уровня 45 нм: 45, 32, далее везде? / И. Шахнович // Электроника: Наука, технология, бизнес. – 2008. – № 2.